天津华慧芯科技集团有限公司成立于2017年11月,全面负责清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心的运营。旗下拥有华慧高芯、华慧科锐、华慧国贸3家全资/控股子公司,出资参股华控电科(基金管理公司)等多家子公司。主营业务为高端光电子芯片工艺研发、微纳结构和材料表征分析及高新技术企业投资孵化。目前拥有70余人的高水平技术团队,1200㎡的研发中心和15000㎡的生产基地。其中研发中心拥有完备的光电子器件研发设备,核心设备包括国内唯一的电子束直写系统JEOL JBX-9500FS(可直写10纳米量级图形),10余台世界领先设备(包含聚焦离子束系统Zeiss Crossbeam 540等设备),50余台光电芯片工艺设备(包含紫外曝光系统 SUSS MA/BA6 、电子束蒸发镀膜 LAB Line PVD 75 、化学气相沉积 Oxford PlasmaPro 、ICP刻蚀机等设备),支持III-V族化合物、硅基半导体、二维材料、金属材料等光电子芯片的研发、表征及分析。华慧芯集团运营的测试实验室可以提供国际领先的芯片测试分析服务。
华慧芯科技集团依托清华大学电子工程系的人才及技术优势,结合华慧泰有电子信息创投基金和清控国创光电智能产业基金的投资力量,致力于为我国光电科技领域的高等科研院所、高科技企业提供技术解决方案和企业金融服务。